基本參數
| 機架 | 東信噴塑 |
| 腔體 | 進口316不銹鋼 |
| 真空泵 | 雙泵組合 |
| 角閥 | 北儀 |
| 流量控制器 | sevenstart |
| 真空顯示儀 | sevenstar |
| 電源匹配器 | 美國COMDEL |
| 射頻電源 | （13.56MHz） |
| PLC | 三菱 |
| 電氣系統 | 施耐德 |
| 變頻器 | 三菱 |
| 觸摸屏 | 臺灣威綸 |
| 冷卻電極 | 水冷 |
| 真空顯示規管 | 寶睿 |
設備特點
腔體結構說明：單軸電極設計，儲物腔利用電磁驅動原理，采用旋轉模式，這樣產品可在腔內無序全方位接受等離子處理，非常適合小產品大批量的反應。
結構對稱，功率損耗小，有效工作能量高；
空間利用率高，提高生產能力，增加產能；
設備運行過程不需要人員守候，運行完報警提示；
整機程序自動化，一個操作員即可；
氣體流量在觸摸屏設定、精確監控顯示，節約氣源；
設備優勢
等離子清洗作為重要的材料表面改性方法，已經在眾多領域廣泛使用。相比傳統的一些清洗方法，如超聲波清洗、UV清洗等，具有很多優點
處理溫度低。處理溫度可以低至30℃以下，低的處理溫度可以確保對樣品表面無造成熱影響。
處理全程無污染，等離子清洗機本身是很環保的設備，無產生任何污染，處理過程也無產生任何污染。可以與原有生產流水線搭配，實現全自動在線生產，節約人力成本。
處理效果穩定。等離子清洗的處理效果非常均勻穩定，常規樣品處理后較長時間內保持效果良好。
可以處理各種形狀的樣品 對于復雜形狀的樣品，等離子清洗都能找到合適的解決方案。 真空等離子清洗更可實現對固體樣品內部位置進行清洗。
