四軌道在線式真空等離子清洗機產(chǎn)品介紹：

四軌道在線式等離子清洗機主要針對集成電路IC封裝，LED支架清洗工藝，自動將料盒里的引線框架取出并進行等離子清洗，去除材料表面污染，提高表面活性，再自動放回料盒，全程無人為干擾。

工作流程：

1）將裝滿引線框架的4個料盒放置在置取料平臺上，推料機構(gòu)將第一層料片推出至上下料傳輸系統(tǒng)。

2）上下料傳輸系統(tǒng)通過壓輪及皮帶傳輸將料片傳輸?shù)轿锪辖粨Q平臺的高臺上，通過撥料系統(tǒng)進行定位。

3）接好料片的平臺交換至等離子反應(yīng)腔室下方，通過提升系統(tǒng)將真空腔室閉合抽進行等離子清洗。當(dāng)高臺傳輸?shù)角逑次粫r，低臺傳輸?shù)浇恿衔恢眠M行第二層的接料。高臺清洗結(jié)束后與低臺交換位置，低臺進行等離子清洗，高臺到接料位置進行回料。

4）物料交換平臺上的料片由撥料系統(tǒng)撥到上下料傳輸系統(tǒng)上,通過壓輪和皮帶傳回料盒，完成一個流程。推料機構(gòu)推下一層料片，進行下一個流程。

上下料系統(tǒng)：料盒放置在上料臺上，自動運動至料盒夾中， 通過料盒夾取機構(gòu)將料盒夾至工作位，料片推桿機構(gòu)將料片推 至過渡橋上后，通過料片夾將料片夾至反應(yīng)倉、移動倉底，下料 時再通過相反過程，將料片送回至料盒，即料盒對料盒的模式， 避免人工接觸。 推料及夾取料片均采用光纖傳感器進行檢測，避 免空流程及卡料。

四軌道在線式真空等離子清洗機產(chǎn)品特點：

針對LED，IC封裝工序設(shè)計，可先擇同時清洗4種不同寬度的產(chǎn)品；

軌道條數(shù)可以增加減少，或者根據(jù)材料寬度大小可靈活設(shè)計；

片式清洗，清洗效果更明顯，更徹底；單邊上下料結(jié)構(gòu)，無需更換料盒，清洗后的產(chǎn)品自動回到原來的料盒， 杜絕混批；

高度自動化作業(yè)，配備自動上片，傳輸，清洗，收片等功能，減少人員干預(yù)，降低二次污染風(fēng)險。雙清洗托盤，一個清洗的同時另一個備料，提高生產(chǎn)效率；

 一鍵更換產(chǎn)品，設(shè)備所有參數(shù)及設(shè)置自動加載，無需人工設(shè)定；

手動清洗與自動清洗均一鍵操作，操作使用更簡單；

產(chǎn)品安全多重設(shè)計，確保人身安全，確保不會造成產(chǎn)品變形損壞；

模塊化設(shè)計，國際品牌配置，確保設(shè)備穩(wěn)定運行。

模塊化設(shè)計，組件更換靈活，切換產(chǎn)品快速，運行過程實時監(jiān)控，動畫指示工作過程，一目了然，設(shè)備操作權(quán)限分級管理，便于管控。

采用13.56MHZ電源，清洗時間短，無濺射，溫度低。

4條通道每個地方獨立檢測，準確判斷問題所在，生產(chǎn)過程可管控，故障報警可追索，有提示，快速排查故障部位，便于維護。

隨著在線式等離子清洗機及工藝在IC封裝領(lǐng)域內(nèi)的應(yīng)用越來越廣泛，并以其優(yōu)良的工藝性能促進了微電子行業(yè)技術(shù)的快速發(fā)展，成為21世紀IC封裝領(lǐng)域內(nèi)關(guān)鍵生產(chǎn)裝置，成為提高產(chǎn)品可靠性和成品率的重要手段，是生產(chǎn)中不可缺少的步驟。伴隨著現(xiàn)代高科技的需要，在線式等離子清洗技術(shù)將不斷發(fā)展技術(shù)水平和應(yīng)用范圍，推廣到LED封裝及LCD行業(yè)趨勢勢在必行，展望未來，在線式等離子清洗技術(shù)的發(fā)展前景是無限美好的。