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東信高科真空等離子清洗機(jī)系統(tǒng)維護(hù)及保養(yǎng)
東信高科等離子清洗機(jī)系統(tǒng)維護(hù)及保養(yǎng)手冊(cè)
9.3.1檢查真空系統(tǒng)油泵和鼓風(fēng)機(jī)
許多與真空系統(tǒng)相關(guān)的問題都出自真空泵油。為了確認(rèn)它在一個(gè)適當(dāng)?shù)乃胶褪欠駸o污染，定期檢查石油水平是非常有必要的。臟和石油不足都會(huì)導(dǎo)致較差的真空泵性能。污油也會(huì)性能降低。
一些等離子體的處理可能會(huì)造成更大程度的泵油污染，因此額外的個(gè)人防護(hù)設(shè)備是有必要的。
泵油應(yīng)該被更換至少一年一次，如果機(jī)器得到大量使用，這將造成大量的污油，因此泵油盡可能的每?jī)蓚€(gè)月更換一次，并且泵油要每個(gè)月至少檢查一次。
檢查泵油,執(zhí)行下面的步驟:
1.關(guān)掉裝置
2.打開前門
3.定位泵油位窺鏡,并確保石油水平在最大值和最小值之間。
注意：泵油是一種對(duì)皮膚和眼睛的刺激物，在更換泵油的時(shí)候要注意個(gè)人防護(hù)措施。
更換泵油,執(zhí)行下面的步驟:
1.等待15分鐘是泵油稍微冷卻然后操作，泵油不可過冷，不然會(huì)不好移除。
2.排泄石油壓強(qiáng)，使之達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)大氣壓強(qiáng)
3.斷開泵油系統(tǒng)，用干氮清除泵內(nèi)殘留有毒或含腐蝕性氣體。
4.向泵油塞方向傾斜
5.旋松排油管,瀉油。
6.安好泵塞運(yùn)行泵大約10秒鐘，打開進(jìn)氣口這會(huì)使泵油從泵中移除。
7.再次通過移除塞瀉油。
8.換好新的泵油然后上好泵塞。
注意：換油時(shí)一定要關(guān)閉等離子體系統(tǒng)電源。
9.3.2 檢測(cè)真空泄漏
真空泄漏常常可以發(fā)現(xiàn)通過使用異丙醇。通過擦洗揮發(fā)性液體檢查可疑部件，真空泄露會(huì)吸入蒸汽從而導(dǎo)致顯示面板上壓力增大，增加5毫托或更多的，表示存在一個(gè)錯(cuò)誤的真空組件或連接。檢測(cè)小泄漏保持流動(dòng)的異丙醇的組件或連接約10是有必要的。小泄漏將不會(huì)顯示快速變濕，流動(dòng)的異丙醇應(yīng)該覆蓋在整個(gè)相關(guān)組件上，當(dāng)使用異丙醇是應(yīng)避免接觸任何有標(biāo)簽的部位，因?yàn)榭赡軙?huì)導(dǎo)致刻字消失
9.3.3清洗反應(yīng)室
使用者應(yīng)該每天檢查任何污垢和外來物質(zhì)。
當(dāng)清洗機(jī)室時(shí)使用手套和保護(hù)眼睛
警告:清洗機(jī)室后,總是產(chǎn)生純氬或氧等離子體應(yīng)該在高功率下消除至少15分鐘確保清潔室無視覺跡象
1.泵室減少到最低可以達(dá)到的壓力并且記錄數(shù)據(jù)。
2.在4000瓦和300毫托條件下生成氧等離子體15分鐘
3.在4000瓦和250毫托條件下生成氧等離子體15分鐘
4.泵室第二次減少到最低可以達(dá)到的壓力并且記錄數(shù)據(jù)，比較這個(gè)值和第一個(gè)值，一個(gè)顯著減少在兩比較之間則暗示清潔室發(fā)生了故障在等離子機(jī)運(yùn)行工作時(shí)。
5.重復(fù)這個(gè)過程,直到?jīng)]有明顯區(qū)別是指出最低基地壓力從一個(gè)測(cè)試值到下一個(gè)。
注意：使用CF4或類似的氣體會(huì)引起涂料的反應(yīng)室和它的組件與這些氣體的副產(chǎn)品，當(dāng)使用這些類型的氣體處理等離子機(jī)時(shí)，清洗方案必須經(jīng)常重復(fù)直至刪除副產(chǎn)品，因?yàn)樗麄儗⒑苋菀自俪练e到干凈的表面。
9.3.4 檢查真空裝置的完整性
有必要定期檢查真空系統(tǒng)的完整性，這種檢查應(yīng)該在徹底的清洗反應(yīng)室之后，以避免污染物或者真空脫氣泄露。
手動(dòng)檢查步驟：
1.在主菜單中,按手動(dòng)模式按鈕來選擇手動(dòng)模式
2.在手動(dòng)模式屏幕,按下真空開/關(guān)按鈕打開真空閥室
3.觀察基礎(chǔ)氣壓，讀取列表在屏幕右邊，在5分鐘內(nèi)它應(yīng)該低于100毫托。
4.等20分鐘,使任何殘留的水分退出系統(tǒng)。
5.記錄最終的壓力。
6.按下真空開/關(guān)按鈕來關(guān)閉真空閥到室。
7.觀察基礎(chǔ)壓力。
如果系統(tǒng)沒有真空密閉的，壓力值會(huì)慢慢上升，根據(jù)泄露比例系統(tǒng)壓力上升不會(huì)超過30豪托每分鐘。
為了確保最佳性能和系統(tǒng)的優(yōu)良性能，應(yīng)該成功的運(yùn)行真空系統(tǒng)進(jìn)行檢測(cè)，如果任何不符合點(diǎn)被檢查出，應(yīng)該及時(shí)檢查室墊圈（在塑料門附近）。有時(shí)灰塵和污染物覆蓋在墊片上，也要檢查連接在里面的電子內(nèi)閣是否有明顯的損壞或泄露。
9.3.5 檢查輸氣管道完整性
確定氣線的完整性，只需打開氣瓶的閥，并很快再次關(guān)閉它。如果壓力讀數(shù)在一分鐘內(nèi)調(diào)節(jié)值，有大量泄漏，可能是危險(xiǎn)的。
9.3.6 檢查電源連接
所有的等離子體系統(tǒng)的運(yùn)作，利用雙浮動(dòng)功率輸出每個(gè)輸出總線電極的母線連接電極是由一個(gè)不銹鋼夾和一個(gè)M –4螺釘，螺釘應(yīng)定期檢查密封性保證電極的母線連接的安全性
9.3.7清洗風(fēng)機(jī)過濾器
風(fēng)扇和過濾器，位于系統(tǒng)的頂部和底部，保護(hù)系統(tǒng)，需要定期清洗去除灰塵和皮棉。堵塞的過濾器，會(huì)導(dǎo)致熱量積聚。
清潔過濾器執(zhí)行以下步驟：
1.通過拆除四個(gè)螺絲分離過濾器的風(fēng)扇。
2.用壓縮空氣吹洗過濾器，如果過濾器非常臟，需要用肥皂水清洗然后用壓縮空氣吹洗。
3.更換墊片和過濾器，確保螺絲孔窩，突出的屏幕的一側(cè)是朝外。（過濾器應(yīng)被檢查清洗每月一次，這個(gè)任務(wù)可能在大約二十分鐘。技術(shù)援助或更換零件，請(qǐng)聯(lián)系等離子體系統(tǒng)的客戶服務(wù)部）。
9.3.8檢查室門墊圈
保持性能良好的真空反應(yīng)室，室門墊圈是必不可少的
警告:潛在的燃燒危險(xiǎn)!
警告:反應(yīng)室墊圈會(huì)導(dǎo)致系統(tǒng)真空泄漏。當(dāng)檢查有任何裂紋或碎片在密封表面和外部密封焊道里面。請(qǐng)及時(shí)更換。這個(gè)墊圈的平均壽命是8到12個(gè)月。
檢查室墊片,執(zhí)行下面的步驟:
1 從反應(yīng)室小心的把墊片移除下來。
2 拉開雙方檢查裂縫內(nèi)密封表面。如果有裂縫,無論多么小,都要更換密封墊。
3 檢查在外面密封焊道上是否有裂縫。如果有發(fā)現(xiàn),更換密封墊。
4 檢查墊圈外是否有破碎小顆粒。如果有必須清洗墊圈。墊圈可以用溫肥皂水清洗后，再使用酒精進(jìn)行一個(gè)徹底的清洗。
5 檢查墊圈是否有惡化癥狀。這是一種粉狀物質(zhì),通常在表面的墊片。重度惡化會(huì)使墊圈會(huì)變得脆弱。這些表明,硅橡膠被破壞了。墊圈可以清洗(第4步中所述) 只要不存在裂縫可以一直使用。
9.3.9 觀察窗口/ 機(jī)器維護(hù)
觀察窗口由玻璃制成(12.7毫米厚)。如它需要更換時(shí)請(qǐng)聯(lián)系東信高科工程技術(shù)人員。
9.3.10 射頻發(fā)生器維護(hù)
定期檢查后面的裝置是否有灰塵或被腐蝕。
每六(6)個(gè)月檢查一次是否有松散的電氣連接。
9.3.11 電極維護(hù)
1 電極是一個(gè)有磨損項(xiàng)目。適當(dāng)?shù)木S護(hù)，可以使電極的壽命擴(kuò)展到最大的預(yù)期使用。
2 當(dāng)漿水用于處理烴類原料，薄涂層殘留往往停留在電極一段時(shí)間。在早期階段，這種涂層不影響運(yùn)行的設(shè)備和最后的產(chǎn)品。但在在連續(xù)操作下，微妙但重大的變化可以被檢測(cè)到
3 確保正確操作設(shè)備，我們建議電極每6月或1000小時(shí)操作就進(jìn)行一次污染處理。使用以下過程，消除污染不影響電極的性能。
材料要求
氫氧化鈉
硫酸
蒸餾水
注意：這些材料腐蝕性，有毒和危險(xiǎn)。
只有經(jīng)過適當(dāng)?shù)陌踩A(yù)防措施的有相應(yīng)的訓(xùn)練的人員才能進(jìn)行處理。不要使用任何機(jī)械清潔電極，如鋼絲刷，砂紙，或研磨拋丸這將導(dǎo)致泄漏和/或縮短他們的生命。
清潔電極:
1、確定每個(gè)電極下負(fù)極，使它們可以被安裝在正確的位置
2、取出電極，輕輕擦試污染物，使其完全干燥。
3、正確組裝電極。
