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空氣、氬氣、氮氣、氧氣、氫氣、四氟化碳plasma清洗...
等離子清洗機(jī)常用的氣體有普通的空氣、氬氣、氮氣、氧氣、氫氣、四氟化碳等等，每種氣體都有自己的特性，這里我一一給大家做一做講解
氬氣是一種無色無臭的惰性氣體，通過高壓氣瓶運輸和存儲，在工業(yè)中經(jīng)常應(yīng)用于金屬的電弧焊接和切割保護(hù)。
氬氣是一種惰性氣體，電離后產(chǎn)生的離子體不會與基材發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，在等離子清洗中主要被應(yīng)用于基材表面的物理清洗及表面粗化，最大的特點就是在表面清洗中不會造成精密電子器件的表面氧化。正因如此，氬等離子清洗機(jī)在半導(dǎo)體、微電子、晶圓制造等行業(yè)被廣泛應(yīng)用。
氬氣、氦氣、氮氣等都是非反應(yīng)性氣體。氮等離子體處理可以提高材料的硬度和耐磨性。氬和氦性質(zhì)穩(wěn)定，放電電壓低(氬原子電離能E為15.57eV)，容易形成亞穩(wěn)態(tài)原子。當(dāng)然等離子清洗機(jī)一方面利用其高能粒子的物理作用清洗容易氧化或還原的物體，Ar+轟擊污垢形成揮發(fā)性污垢，用真空泵抽走，避免了表面物質(zhì)的反應(yīng)；另一方面，亞穩(wěn)原子容易利用氬形成，然后與氧和氫分子碰撞時發(fā)生電荷轉(zhuǎn)換和結(jié)合，形成氧氫活性原子作用于物體表面
氫氣屬于不穩(wěn)定氣體，主要用于還原，清洗掉金屬表面的氧化物。四氟化碳是一種無色無味的氣體，無毒、不燃，但在高濃度時具有麻醉作用，所以在工業(yè)應(yīng)用時儲存的容器為專用高壓氣瓶，所使用的減壓閥也為專用減壓閥。
四氟化碳在被等離子清洗機(jī)電離后會產(chǎn)生含氫氟酸成分的刻蝕性氣相等離子體，能夠?qū)Ω鞣N有機(jī)表面實現(xiàn)刻蝕及有機(jī)物去除，在晶圓制造、線路板制造、太陽能電池板制造等行業(yè)中被廣泛應(yīng)用，在晶圓制造行業(yè)中光刻機(jī)利用四氟化碳?xì)怏w進(jìn)行硅片的線路刻蝕，等離子清洗機(jī)利用四氟化碳進(jìn)行氮化硅刻蝕及光刻膠去除。
大氣壓等離子就是常壓等離子，通常有三種效果模式可選。一是選用 氬氣/氧氣 組合，主要面向非金屬材料并且要求較高的表面親水效果時采用，比如玻璃，PET 材料等。 二是選用 氬氣/氮氣 組合，主要面向各種金屬材料，如金線、銅線等。因氧氣的氧化作用，替換為此方案中的氮氣后，該問題可以得到有效控制。三是只采用壓縮空氣的情況，只采用壓縮空氣也可以實現(xiàn)表面改性，并且也是常見的一種處理辦法，處理很多材料表面都是使用壓縮空氣直接處理。此為特殊情況，是少數(shù)工業(yè)客戶需要有限而均勻的表面改性時采用的方案。
安全易用。大氣壓式等離子，也是低溫等離子，不會對材料表面造成損傷，例如對方阻值敏感的材質(zhì)亦可處理。無電弧，無需真空腔體，也無需廢氣排放系統(tǒng)，長時間使用并不會對操作人員造成身體損害。
面積寬大。大氣壓等離子最大可以處理2m寬的材料，可以滿足現(xiàn)有多數(shù)工業(yè)企業(yè)的需求。
成本低廉。大氣壓等離子設(shè)備功耗低，運行成本以氣體為主。
大氣壓等離子清洗機(jī)就是常壓等離子清洗機(jī)，按照噴頭分類，可以分成為旋噴等離子清洗機(jī)和直噴等離子清洗機(jī)，直噴機(jī)能量高，通常用來處理點和線狀區(qū)域，旋噴等離子清洗機(jī)用來處理的地方比較寬，而且噴頭大小可以定做到 直徑10cm以上，多個噴頭同時使用可以處理很寬的區(qū)域。從廣義上面來說，電暈機(jī)其實也是等離子清洗機(jī)，通常也是用大氣處理。
實際工作過程中，為了保證最好的清洗效果，常常多種氣體使用，比如先用氫氣還原，然后用氧氣或者混合氣體使用處理，而且會對清洗的時間，通入的氣體量也會做調(diào)整。當(dāng)然，如果你有材料處理，請聯(lián)系我們的技術(shù)，發(fā)材料過來，我們來給你做測試，以達(dá)到最佳的清洗效果。
